В логах: systemd-tmpfiles[2415]: /lib/tmpfiles.d/squidmill.conf:1: Invalid mode 'squid'. В /lib/tmpfiles.d/squidmill.conf некорректно указан порядок параметров. Видимо нужно поменять: d /run/squidmill squid squid 775 на d /run/squidmill 775 squid squid -